新型光刻膠制備方法開發(fā)成功
文章來源：中化新網(wǎng) 更新時(shí)間：2025-09-26 15:57:11
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中化新網(wǎng)訊 華東理工大學(xué)副教授莊黎偉、美國(guó)約翰霍普金斯大學(xué)教授邁克爾·薩帕希斯領(lǐng)銜的國(guó)際合作團(tuán)隊(duì)，提出了一種間歇性旋涂化學(xué)液相沉積制備非晶態(tài)沸石咪唑酯骨架(aZIF)薄膜的方法，實(shí)現(xiàn)了薄膜沉積速率和厚度的可控，并進(jìn)行了電子束光刻和超越極紫外光刻驗(yàn)證。相關(guān)研究近日發(fā)表于《自然-化學(xué)工程》。
據(jù)介紹，近年來，aZIF薄膜被用作先進(jìn)光刻膠。實(shí)現(xiàn)aZIF薄膜的大面積、高精度可控制備，對(duì)相關(guān)領(lǐng)域的先進(jìn)光刻工藝具有重要意義。 在前期基于超稀釋前驅(qū)體溶液賦能化學(xué)液相沉積法制備aZIF薄膜策略的基礎(chǔ)上，研究團(tuán)隊(duì)提出了制備aZIF薄膜的新方法。經(jīng)過系列實(shí)驗(yàn)和仿真，研究團(tuán)隊(duì)得到了薄膜沉積的本征速率，并揭示了薄膜沉積均勻性的關(guān)鍵影響因素。 研究團(tuán)隊(duì)利用該化學(xué)液相沉積方法，制備了鋅/2-甲基咪唑，鋅/苯并咪唑、鋅/4,5-二氯咪唑和鈷/2-甲基咪唑等多種aZIF薄膜，并對(duì)aZIF薄膜作為正型光刻膠和負(fù)型光刻膠的圖案化性能進(jìn)行了測(cè)試。他們還驗(yàn)證了aZIF薄膜作為光刻膠在下一代光刻技術(shù)中應(yīng)用的可行性。 |
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