| 新聞直報(bào)員供求信息會(huì)員 |
上海交大提出自組裝單分子膜摻雜技術(shù)新方向
文章來(lái)源：未知 更新時(shí)間：2018-01-16 14:08:45
|
據(jù)報(bào)道，上海交通大學(xué)密西根學(xué)院但亞平課題組研究發(fā)現(xiàn)，自組裝單分子膜摻雜會(huì)在硅襯底引入碳缺陷，從而降低硅中磷雜質(zhì)的電學(xué)激活率。研究人員由此提出了自組裝單分子膜摻雜技術(shù)的研究方向，為發(fā)展無(wú)缺陷態(tài)的單分子膜摻雜技術(shù)奠定了基礎(chǔ)。相關(guān)成果日前發(fā)表于《自然—通訊》雜志。
傳統(tǒng)的離子注入摻雜依賴高能離子轟擊半導(dǎo)體晶體實(shí)現(xiàn)，半導(dǎo)體晶體常遭到破壞。其電學(xué)性能因此惡化，而且雜質(zhì)原子在半導(dǎo)體內(nèi)隨機(jī)分布，無(wú)法滿足當(dāng)前先進(jìn)集成電路制造工藝的需求。自組裝單分子膜摻雜不會(huì)在半導(dǎo)體中引入物理?yè)p傷，而且可精確控制雜質(zhì)分布。該技術(shù)在超淺結(jié)的形成、雜質(zhì)劑量的控制、復(fù)雜幾何結(jié)構(gòu)的摻雜以及單個(gè)雜質(zhì)原子的大規(guī)模操控等方面擁有巨大的潛在優(yōu)勢(shì)，但有機(jī)分子載體可能在半導(dǎo)體中引入碳缺陷，從而惡化器件的電學(xué)特性。
但亞平課題組首次采用低溫霍爾效應(yīng)和深能級(jí)瞬態(tài)譜等技術(shù)，直接觀測(cè)到碳缺陷，并對(duì)碳缺陷態(tài)本身及其產(chǎn)生的電學(xué)影響進(jìn)行了深入研究。 |
相關(guān)新聞
- [2024-06-28]·湖北宜化擬公開(kāi)掛牌轉(zhuǎn)讓降解新材
- [2024-06-28]·廣信股份公開(kāi)一項(xiàng)聚氨酯農(nóng)藥微膠
- [2024-06-28]·伊之密與海爾再度攜手，共筑智能
- [2024-06-28]·全球首列！更輕更節(jié)能的碳纖維地
- [2024-06-28]·稀土紅外反射中空隔熱聚酰胺纖維
- [2024-06-28]·盛禧奧在意大利開(kāi)設(shè)PMMA先進(jìn)回收
- [2024-06-28]·APS Elastomers推出新的耐高溫T
- [2024-06-28]·杜邦FROTH-PAK?環(huán)保型低壓雙組
- [2024-06-27]·科學(xué)家創(chuàng)制出無(wú)疲勞鐵電材料?有
- [2024-06-27]·亞納米尺度全暴露Pt團(tuán)簇高效催化
主辦單位：山東省化工情報(bào)信息協(xié)會(huì)
山東省濟(jì)南市文化東路80號(hào)郵編：250014電話：0531—86399950、86399980、86399990傳真：0531—86399186
山東化工網(wǎng)在線交流：
Copyright(C)山東省化工情報(bào)信息協(xié)會(huì) 版權(quán)所有 備案號(hào)：魯ICP備2021036540號(hào)
山東省濟(jì)南市文化東路80號(hào)郵編：250014電話：0531—86399950、86399980、86399990傳真：0531—86399186
山東化工網(wǎng)在線交流：
Copyright(C)山東省化工情報(bào)信息協(xié)會(huì) 版權(quán)所有 備案號(hào)：魯ICP備2021036540號(hào)
魯公網(wǎng)安備 37010202001033號(hào)